คำอธิบาย

ส่งคำถาม

โรงบำบัดน้ำ EDI สำหรับตัวนำกึ่ง-มักเป็นส่วนหนึ่งของระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษ (UPW) ในบริบทนี้ EDI คือ "ขั้นตอนการขัดเงากำจัดไอออน"- ตามหลัง RO ที่ช่วยให้คุณได้ค่าการนำไฟฟ้าต่ำมาก- จากนั้นการขัด UPW เพิ่มเติมจะกำจัด TOC ซิลิกา/โบรอน ก๊าซละลาย แบคทีเรีย และอนุภาคออกเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดด้านการผลิต

เหตุใด EDI จึงเป็นมาตรฐานสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

เรซินแลกเปลี่ยนไอออน-แบบเดิมส่วนใหญ่ถูกแทนที่ด้วย EDI ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากมีข้อได้เปรียบทางเทคนิคที่สำคัญหลายประการ:

การรั่วไหลของไอออนิกเป็นศูนย์: ต่างจากเรซินเบดมาตรฐานที่สามารถ "รั่ว" ไอออนได้เมื่อหมดประจุ EDI ให้กระแสที่มีความบริสุทธิ์สูง-คงที่ เนื่องจากเรซินถูกสร้างใหม่อย่างต่อเนื่องโดยสนามไฟฟ้า
สภาพแวดล้อมที่ปราศจากสารเคมี-: อุปกรณ์กึ่งตัวนำต้องการสภาพแวดล้อมที่เสถียรอย่างไม่น่าเชื่อ EDI ใช้ไฟฟ้าแทนกรดและสารกัดกร่อนที่เป็นอันตราย ช่วยลดความเสี่ยงของควันสารเคมีหรือการรั่วไหลโดยไม่ตั้งใจซึ่งอาจปนเปื้อนในอากาศ "ห้องสะอาด"
การกำจัด TOC และซิลิกาต่ำ: EDI มีประสิทธิภาพสูงในการกำจัดสายพันธุ์ที่แตกตัวเป็นไอออนอย่างอ่อน เช่น ซิลิกา ($SiO_2$) และโบรอน ซึ่งฉาวโฉ่ว่าลอกออกได้ยาก แต่ทำลายล้างผลผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ความสามารถในการขยายขนาดโมดูลาร์: "Fabs" ของเซมิคอนดักเตอร์มีขนาดใหญ่มาก ระบบ EDI เป็นแบบโมดูลาร์ ช่วยให้วิศวกรสามารถปรับขนาดการผลิตน้ำขึ้นหรือลงเพื่อให้ตรงกับจำนวนการพิมพ์หินหรือเครื่องมือแกะสลักที่ใช้งานอยู่

โรงบำบัดน้ำ EDI ทั่วไปสำหรับตัวนำกึ่ง-

ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ โรงงาน EDI คือ "หัวใจ" ของวงจรการขัดเงา ซึ่งอยู่ระหว่างขั้นตอนการ Reverse Osmosis (RO) และจุดสุดท้าย-ของ-การใช้ตัวกรอง:

การบำบัดเบื้องต้น (RO สอง-ผ่าน): ขจัดสิ่งปนเปื้อนจำนวนมากได้ 99% ซึมผ่านคุณภาพสูง-จาก RO ผ่านที่สองทำหน้าที่เป็นน้ำป้อนสำหรับ EDI
การกำจัดก๊าซ: กำจัด $O_2$ และ $CO_2$ ที่ละลายอยู่ออก นี่เป็นสิ่งสำคัญเนื่องจากก๊าซที่ละลายอาจทำให้เกิดฟองบนพื้นผิวเวเฟอร์และรบกวนประสิทธิภาพของ EDI
โมดูล EDI: น้ำจะถูกขัดให้เหลือ 15–18 M$\\Omega$·cm สนามไฟฟ้าช่วยให้แน่ใจว่าเรซินแลกเปลี่ยนไอออน-จะยังคงอยู่ในสถานะ "มีประจุ" อย่างถาวร
UV และการกรองแบบอัลตราฟิลเตรชัน (UF): "การขัดเงา" ขั้นสุดท้ายที่ความยาวคลื่น UV 18.5 นาโนเมตรหรือ 254 นาโนเมตร เพื่อทำลายสารอินทรีย์ปริมาณน้อย (TOC) และเยื่อ UF เพื่อจับอนุภาคขนาดจิ๋ว-ไมครอนที่เหลืออยู่

ประเด็นการออกแบบที่สำคัญที่สำคัญที่สุด

ฟีดไปยัง EDI จะต้องสะอาดมาก: มีความแข็งต่ำ, มีความเสี่ยงต่อการเกิดตะกรันของซิลิกาต่ำ, สารออกซิแดนท์ต่ำ (คลอรีน), SDI ต่ำ
การไล่ก๊าซ (การกำจัด CO₂) มักจะช่วยเพิ่มความต้านทานและลดภาระ EDI
วัสดุและสุขอนามัย: ห่วง UPW มักจะใช้วัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูง- (เช่น PVDF/PFA/EP- เกรด SS ขึ้นอยู่กับข้อมูลจำเพาะ) และการหมุนเวียนซ้ำอย่างต่อเนื่องเพื่อป้องกันการปนเปื้อน
การตรวจสอบ: ความต้านทาน, TOC, ซิลิกา, DO, จำนวนอนุภาค, การไหล/ความดัน, อุณหภูมิ-พร้อมการแจ้งเตือน/แนวโน้ม

หากคุณบอกฉัน 4 ข้อนี้ ฉันสามารถแนะนำโรงบำบัดน้ำ EDI ที่เหมาะสมสำหรับตัวนำกึ่ง-ได้: